第18届国际激光加工技术研讨会（LPC 2024）将于9月10日（深圳光博会前一天）在深圳深铁皇冠假日酒店举办。LPC 2024继续秉承以推动激光行业的可持续发展，搭建“产学研用”高度融合的国际交流平台为宗旨，汇聚国内外相关科研院所、高校及企业的多位专家大咖，围绕先进光源和装备技术、激光微纳制造、激光智能制造、激光赋能新质生产力以及“光”制造行业的创新发展路径等主题进行深入探讨，结合他们最新的研究成果和成功案例分享全球激光行业的创新工艺、技术、产品和应用方案，探索前沿技术、破解难点痛点、驱动热点应用、把脉未来趋势、促进产业发展！
演讲嘉宾
◎徐少林，南方科技大学副教授
演讲题目
◎激光引导各向异性刻蚀—微结构玻璃器件精密加工技术
演讲摘要
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表面微结构化玻璃在各类光学元件和光电器件中得到了广泛应用。然而，现有的精密加工方法通常难以实现高效制造复杂、高自由度的玻璃微结构，这限制了微结构化玻璃元件的应用潜力。徐少林团队的研究发现，通过利用激光对玻璃特定区域进行改性，可局部加速玻璃刻蚀速率，打破玻璃固有的各向同性刻蚀规律，实现沿改性轨迹引导的各向异性刻蚀过程。基于这一现象，团队开发了“激光引导各向异性刻蚀”技术，用于制备具有锐利特征、光滑表面以及可调形状和尺寸的精密玻璃微结构。该方法使用整形贝塞尔光束在玻璃内部创建高纵横比的线形改性区域。这些改性线的蚀刻速率高于原始玻璃，并且可以沿着改性轨迹引导具有方向性的蚀刻去材过程，从而形成V槽结构。通过调控蚀刻速率比，可以在20至80度范围内精确调节V槽角度。将这些改性线作为基本单元相互连接，构建三维内部改性区域，可以引导玻璃表面形貌的整体蚀刻演化，最终实现具有可设计形状和可调特征尺寸的微结构。该技术在加工各类精密结构化玻璃元件中展现出巨大潜力，可加工用于光纤对准的V槽阵列、用于光调制的闪耀光栅，以及具有复杂设计流道的微流控芯片等。这一激光引导各向异性刻蚀方法有望推动高附加值结构化玻璃器件相关研究和产业的进一步发展。
嘉宾介绍
徐少林博士，现任南方科技大学机械与能源工程系长聘副教授（研究员），博士生导师，主要从事超快激光微纳加工及应用等相关研究。日本东北大学机械系统设计工程博士，曾任职于日本东北大学工学研究科JSPS特别研究员和助理教授，获批主持2项日本学术振兴会科研基金。中国光学学会激光加工专业委员会委员，中国机械工程学会极端制造分会委员，广东省机械工程学会特种加工分会理事。学术研究上，首次提出激光诱导周期性纳米结构自对准制造、逐像素偏振图案化脉冲激光光刻等技术，实现了大面积亚波长结构图案化高效制造；工业应用上，开发了整形脉冲激光辅助蚀刻技术制备玻璃晶圆微通孔/微沟槽/微透镜等，与企业共建“激光精密制造与芯片先进封装”校企联合实验室。近年来以通讯作者身份发表高水平学术论文40余篇，独立主持国家省市级及企业横向项目10余项。
